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氣體質量流量計是否好用,有什么優點及注意事項?
- 2019-12-09-

氣體質量流量計測量的是氣體的質量流量,在氣體壓力變化的情況下,質量流量控制器能夠精確地控制氣體的流量,就是因為它測量的是氣體的質量流量,而不是體積流量。

氣體質量流量通常用標準狀態下的體積流量來表示,質量流量的單位為:

SCCM—標準毫升/分鐘

SLM—標準升/分鐘

氣體的標準狀態為:0℃,101.325KPa

因為在標準狀態下,氣體的密度是一個常數,密度乘以體積流量就是質量流量,所以標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。

注意事項

禁用流量介質

使用氣體必須凈化,切忌粉塵、液體和油污。必要時在氣路中加裝過濾器干燥器等。如果MFC或MFM出口接有液體原瓶,應在流量出口加裝單向閥,防止液體回流損壞MFC或MFM。

使用腐蝕性氣體問題

MFC或MFM通道材料為0Cr17Ni14Mo2(相當于316L不銹鋼),氟橡膠等。在用戶系統無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當的條件下,可測量一般的腐蝕性氣體。使用于氨氣、有機溶劑蒸汽(如丙酮等)或其它強腐蝕性氣體(如BCL3、BBr3等)時,應在訂貨時特殊注明,以便更換密封材料。

閥門密封問題

MFC的電磁閥是調節閥,不是截止閥,不能當截止閥使用,用戶應另配截止閥。特別是使用腐蝕性氣體時,通常應在MFC進出口處各加一個截止閥,以保證安全。長期工作后,如MFC閥口的漏氣率在2%FS以內,屬于正常情況。如果漏氣大于滿量程的2%,則應予以維修。

閥控操作問題

在操作閥門進行清洗后,不能直接轉至“閥控”位工作,必須先將閥門置于“關閉”位,然后再轉至“閥控”位工作。

安裝位置問題

氣體質量流量計/控制器安裝時最好保持安裝面水平,但對位置并不特別敏感,可以任意位置安裝,非水平安裝時如發現零點偏移,可調整零點后再工作。如果用戶訂貨時注明安裝位置,我公司可依此標定后出廠。

注意工作壓差

對于MFC要特別注意工作介質的氣壓,應注意使MFC進出氣兩端的工作壓差保持在治標范圍內。特別是在高壓下工作時,氣壓差過大,流量將無法關閉或調小。在使用大流量的MFC時,要注意適當加粗管道和減小氣源內阻,如工作壓差小于要求值,有可能流量達不到滿量程值。


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